儀表可靠性所追逐的另一重大性能指標。可靠性和儀表維護量是相反相成的，儀表可靠性高介紹儀表維護量小，反之儀表可靠性差，儀表維護量就大。對于化工集團檢查與過程限制儀表，大部分安裝在工藝管道、各類塔、釜、罐、器上，而且化工生產的連續性，多數有毒、易燃易爆的環境，這些惡劣因素給儀表維護加大了很多難題，一是考慮化工生產安全，二是關系到儀表維護人員人身安全，所以化工集團消耗檢查與過程限制儀表要求維護量越小越好，亦即要求儀表可靠性盡可能地高。
隨著儀表更新換代，特別是微電子技術引入儀表制造行業，使儀表可告性大大提高。儀表生產廠商對這個性能指標也越來越重視，通常用平均無故障時刻MTBF來描述儀表的可靠性。一臺全智能變送器的MTBF比一般非智能儀表如電動Ⅲ變送器要高10倍左右。